Piezo电机和电机使用大相径庭Piezo电机为极小运动提供高电量比-通常几毫米或更少快速响应时间自锁 表示在停机状态下能保持负载
电机通常用于驱动至少达几百毫米的球或铅螺旋滑动或滚动运动生成的摩擦-像螺旋驱动-难实现低微分辨率并经常引起电机通过对命令位置的“搜捕”补偿超射或下射
工程师或设计师在应用需要纳米分辨率和行程大于几毫米时转向何处
线性电机语音线圈启动器均有可能解决之道线性电动机提供高定位精度和可重复性长线性电动机,但仍受线性带导线摩擦作用的影响,线性带导线用于支持负载声波线圈启动器提供精准定位并同时提供精良力控和平滑运动但他们的旅行限制约100毫米,当压住负载时画流
线性编码器的出现可实现纳米分辨率,使派索电机和电机合并成混合装置成为可能混合设计提供派索系统定位精度和可重复性,同时提供运动驱动球或铅螺丝长途实现此目标的方法是嵌入派索电机(典型a弹性引导派索启动器进螺旋编译电机负责“粗糙”运动和pizo驱动程序负责“精度”运动
简言之,电动机和球螺旋编译大或“粗度”移动,接近理想位置,派索动画小或“精度”,将舞台定位到目标位置几米内派佐驱动器还可以提高运动平滑性,补偿运动速度偏差
赋能性能技术是一个线性编码器,内分辨纳米分解法,由电动机驱动器和派索驱动器分享两种驱动器都控制在同一servo系统内,但用两个单控环路控制使用常用反馈装置和常用控制器使系统能持续读集位置并协调电动机和派索启动器运动,实现长行程定位精度
混合派电系统可用于半导体检验和计量应用,需要定位精度纳米范围,但需检查或测量的设备长或直径几英寸光学场也常见这些需求,镜面可能需要移动几英寸,但位置必须在几纳米内实现。
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