原名Bruce Sawyer 1968年申请设计专利 Sawyer电机平面电机并有时被称为二轴线性继波电机,因为它们使用继波电机技术,移动段可同时向X和Y方向移动
同其他平面电机设计一样,索伊尔电机由移动部分组成-通常称叉子-和静止部分称板板单轴电机也存在 但这些设计本质上单轴线性继器电机.)
Forcer通常由铝制成,并装有四圈组件,每圈组件由电动机旋转和永久磁铁组成圈状集成二相或四相4级设计提供近2倍分辨率2级设计活性(底部)表层置换成牙状,集中当电流应用圈时生成的磁通量
双线圈组装成数组提供X方向运动,另外两线圈组装对齐前二向向Y方向运动Forcer还装有空气承载系统支持Forcer和应用负载的权重
板板通常是地面钢板,并插槽成牙结巴相似结构,牙间空格填充环氧板块起空气承载面作用,叉子和板块之间的吸引力提供磁性预加载空气系统化
索伊尔电机使用继机技术设计为开路系统运行,但闭路操作可实现,增加2个编码器定位传感器-每个方向1个-检测缺失步数位置传感器行为像增量编码器,但非使用线性尺度,它与板子并用来确定位置。 )尽管全步操作是可能的,但大多数双轴线性继波电机使用微步高分辨率控件
与其他平面电机设计一样,索伊尔电机可使用多独立电磁盘复杂协调运动并因构造叉子, 这些设计还可以提供旋转运动数度索伊尔电机也可以挂起或倒置(倒置)。
索伊尔电机的主要好处是成本相对较低(即使是闭路操作)和易用性,不需要servo调优索伊尔电机尽管相对简单,但微步驱动器操作在高精度半导体处理应用中很常见,例如步器瓦法器、瓦斐探针器(测试用)和电线粘合器等平面继机设计还用于药发现和MEMS行业的集选和定位应用
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